HVAC · Cleanroom AHU
클린룸 공조기
반도체·디스플레이·제약(GMP)·정밀기기 등 초청정 환경이 요구되는 산업에 최적화된 가스 직화식 클린룸 공조기. MIDCO(USA) 버너 기술 기반으로 HEPA/ULPA 필터링, 온습도 정밀 제어, 양압 관리를 통해 Class 1~100,000까지 청정도를 구현하며, 전기히터 대비 에너지 비용을 대폭 절감합니다.
엔비피코리아 클린룸 공조기는 공정실 내부의 청정도, 온도, 습도, 차압을 하나의 시스템으로 관리하도록 설계됩니다. 반도체 FAB, 디스플레이 라인, 제약 GMP 시설처럼 미세 입자와 외기 유입 통제가 중요한 현장에서 안정적인 생산 환경을 구현합니다.
HEPA/ULPA 필터링Class 1~100,000양압 관리정밀 온습도 제어
적용 분야
반도체 FAB
디스플레이 생산라인
제약 GMP 시설
바이오 클린존
정밀 전자부품 생산
연구·시험 클린룸
Cleanroom Control Flow
외기 / 환기 공기
→예열 · 냉각 코일
→프리필터 단계
→HEPA / ULPA 여과
→온습도 정밀 제어
→양압 공급
필터링, 열원 제어, 차압 관리, 환기량 제어를 공정 요구조건에 맞춰 통합 설계합니다.
제품 특징
반도체·디스플레이·제약 공정에 맞춘 초청정 공조 설계
HEPA/ULPA 필터 시스템으로 공기 중 입자 농도 저감
온도·습도·차압을 통합 제어해 공정 안정성 확보
실간 압력 밸런스 설계로 오염원 역류를 최소화
직화식 가열 기술 기반으로 빠른 응답성과 에너지 절감 대응
BMS/PLC 연동을 고려한 운전 인터록 및 모니터링 구성 가능
현장 레이아웃에 맞춘 풍량·정압·필터단 구성 커스터마이징
설계·제작·시공·TAB·사후관리까지 일괄 대응
Key Capabilities
청정도 대응
Class 1~100,000
요구 청정도에 맞춰 필터 등급, 풍량, 실압 조건을 조합합니다.
압력 제어
Positive Pressure
클린존과 일반 구역 간 차압을 유지해 외부 오염 유입을 억제합니다.
필터링
HEPA / ULPA
공정 특성에 따라 프리필터부터 최종 필터 단계까지 구성합니다.
운전 제어
Temp · RH · DP
온도, 습도, 차압을 함께 관리해 생산 품질 편차를 줄입니다.